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        1. 北京杰瑞晟欣科技有限公司
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          液體小量程質量流量控制器

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          產品描述
          技術參數
          技術選型

          產品簡介

          TSK521質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。TSK521系列氣體質量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量,這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點。本產品可以同時測量4種參數:氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓,并且可以同時顯示和輸出。廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

          技術特點

          1、采用差壓式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
          2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
          3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
          4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達30ln/min(N2當量)或2kg/min(H2O當量)
          5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
          6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單。
          7、可直接與上位機連接,實現組網,便于操作。

          未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

          技術參數

          量 程:0…3 0ln/min (N2當量)
          0...2kg/m in (H2O當量)
          準 確 度:±1.0%F.S
          量 程 比:50:1
          重復精度:±0.2%F.S
          線性精度:±0.5%F.S
          響應時間:1…4sec
          穩 定 性:±0.1%F.S
          環境溫度:5…45℃
          溫度系數:<±0.1%F.S/℃
          泄 漏 率:<2×10 -8atm.ml/s(He)
          預熱時間:15min
          供 電:+15 …24vdc
          模擬信號:0…5vdc或4…20mA
          數字信號:RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶顯示
          本體材質:SS316不銹鋼
          最大耐壓:30bar
          連接方式:卡套式連接(可選螺紋連接 面密封VC R或其他連接方式)

          技術選型

          序 列 號: TSK521
          產品類型: 【C】質量流量控制器
          耐壓等級: 【L】低耐壓 30bar
          介質類型: 由廠家選擇
          流量范圍: 【005g】5g/min 【010g】10g/min 【100g】100g/min
                            【500g】500g/min 【001k】1kg/min 【2kg 】2kg/min
          被測介質: 由廠家選擇
          供電類型: 【S】24vdc 
          模擬信號: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
          數字信號: 【X】本地顯示  【R】RS232  【M】RS485(Modbus-RTU)
          密封材質: 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他
          接頭尺寸: 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他

          底部logo

          地       址:北京市朝陽區望京東路8號銳創國際中心B座1119室

          24/h技術支持:400-8016460

          客服熱線:010-86205009

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